4D干涉仪是光学系统成像质量、光学零件面形检测的装置。该设备采用偏振光干涉原理，将传统相移干涉仪的时间域相移转换为空间域相移，并采用独创的相位相关的CCD技术，是的一个CCD帧频内就可以实现全分辨率的测量，因此能有效克服外界干扰，避免环境振动、气流扰动等不利因素的影响，更加高效、准确地测试光学零件面形及光学系统波前。是光学单件检测、光机系统装配检测过程中必不可缺少的精密检测设备。

技术指标：

1）4D干涉仪光源：稳频HeNe激光，波长632.8nm,相干长度＞100m；

2）CCD分辨率：≥1k×1k像素；

3）测试光口径：9mm；

4）RMS测量精度：＜0.002λ（λ=632.8nm）；

5）RMS重复精度＜0.001λ（λ=632.8nm）；