Zygo干涉仪是运用相移干涉原理，能够进行高精度的平面面形、球面面形、光学系统波前检测分析的仪器。是光学单件检测、光机系统装配检测过程中必不可缺少的精密检测设备。

主要技术指标：

1）主机口径为4英寸；

2）光源：采用稳频激光；

3）CCD分辨率：≥1k×1k像素；

4）镜头：配备了F/0.65、F/1.5、F/3.3、F/7.2、F/11等平面四种标准镜头；

5）设备精度PV： 0.01λ；

6）设备精度RMS：0.002λ；

7）重复测量精度PV：0.02λ；

8）重复测量精度RMS：0.004λ；