激光跟踪仪应用绝对激光测距器、精密角度解码器和光束导向伺服跟踪机构来完成动态三维坐标测量。激光跟踪仪可以连续地瞄准、跟踪并确定由移动或稳定的反射目标返回激光束的位置、通过反射目标与被测量物体保持接触、然后通过跟踪激光光束来测量反射目标，进而获得实际工件三维坐标。主要用于检测光路中各元件间的距离和位置精度测量，操作方便，测试速度快。

公司引进了法国FARO公司的LASER Tracker Vantage激光跟踪仪，该仪器采点速度快，软件具有构造功能，能够根据测量结果构造检测光路中的各元件间距离和位置，测量精度可以达到16um+0.8um/m，测量最大范围为160m。